方塊電阻測試儀是一種依照類似的標(biāo)準(zhǔn)和美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)，專門測量半導(dǎo)體薄層電阻（表面電阻）的新型儀器，可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜（ITO透明氧化膜），金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。

該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點(diǎn)。

◆ 特點(diǎn)：

1  采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分，測量準(zhǔn)確穩(wěn)定，低功耗； 2  以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰； 3  采用單個(gè)電池供電，帶電池欠壓指示； 4  體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g； 5  特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護(hù)薄膜 6  探頭帶抗靜電模塊

◆ 技術(shù)指標(biāo)：

測量范圍  按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔：   1.方塊電阻 1.00～199.99Ω/□；   2.方塊電阻 10.0～1999.9Ω/□； 恒流源  測量過程誤差：≤±0.8% 模數(shù)轉(zhuǎn)換器  量程：0～199.99mv；  分辨率：10μv；  方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動(dòng)顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示； 測量不確定度  在整個(gè)量程范圍內(nèi)，測量不確定度≤5% 四探針探頭規(guī)格  間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ 電源  9V疊層電池1節(jié)